微型机电系统(MEMS)传感器
项目持有者:刘彦菊 联系方式:E-mail:liuyanju@yahoo.com 项目介绍: 1)项目简介及可行性分析 微机电系统是将传统的机械系统与微电子制造工艺相结合的产物,该类产品具有体积小、重量轻、制造成本低廉等特点。目前的产品包括压力传感器、加速度传感器、陀螺仪、微型马达、微型阀门、微型泵、气体传感器、微型光通信器件、微型化学分析芯片、以及用于医学检测的微型生物芯片等。基于微机电系统的传感器与作动器,与传统的同类产品相比,用途更为广泛,适用于包括航空航天、建筑、交通、石油、采矿、医学等许多领域。微机电系统的显著特点是尺寸非常小,结构通常为微米左右,而且加工工艺与传统的微电子制造工艺相兼容,批量生产的成本十分低廉,通常只有传统产品的几百分之一到几十分之一。 目前,国外许多著名公司均致力于该产品的研究,微型压力传感器与加速度计已成功用于汽车安全气囊的压力与加速度监测。美国NASA已将多种微机电系统产品用于其火星探测器中。同时,微型光学通信器件研究与应用也是各发达国家的热门话题,已有多种光学开关、光学器件方面的产品面市。 微型机电系统的研究领域在目前国外正逐步实现产业化,由于该产品技术含量及高,成本又十分低廉,产品附加值非常高,及其具有市场竞争力。该产品当前市场容量已经超过10亿美元,据保守估计,到2004年,其市场容量将达到300亿美元,经济效益十分显著。以美国、英国、德国等为主,国外目前有几十家公司都在投资开发和生产该产品,尤其以传感器和光学开关(基于AWG(网络光学波导))为主,经济效益非常大。我国目前还没有类似的成型产业。因此,本项目提出发展以压力、加速度传感器和光学开关为主的产品,既可以出口国外,赶超国外先进水平,与国外产品一争高低,又可以占领巨大的国内市场,市场前景非常诱人,经济效益和社会效益均十分巨大。 2)项目投资及回收 预计项目总投资为2000万元人民币。其中设备费1400万元,流动资金600万元。由于本项目为高新技术、高投资回报率、高附加值项目,纯利润率高达60%, 预计投资回收期为一年。 3)办厂所需条件及合作方式 生产厂房面积约1000平方米左右,可参照半导体生产厂房要求, 可以采取在国外设计定型,国内批量生产的方式,合作创办外资股份制企业,吸引海内外风险资金投入,有意可以提供详细投资分析报告。
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